重生90从工业母机开始第144章 精卫填海光刻之梦

喧嚣的焊接实验现场随着刘主任带着满意的结果和沉甸甸的图纸离开终于恢复了平静。

但李晓宇的脚步并没有因此而停歇。

他转身穿过了重重安检来到了位于地下深处那个全中心保密等级最高也最安静的地方——“精卫”计划联合攻关实验室。

这里没有机器的轰鸣没有飞溅的火花。

只有恒温恒湿系统发出的轻微嗡嗡声和空气中弥漫着的一种近乎于神圣的洁净气息。

长春光机所所长张承平院士正穿着全套的白色防尘服站在一台被厚厚的防辐射玻璃包裹着的结构极其复杂的仪器前全神贯注地观察着示波器上的波形。

这是一台由“金陵中心”和长光所耗时一年多联手打造的——超精密深紫外激光直写光刻机。

“李总工你来了。

”看到李晓宇进来张院士摘下护目镜虽然满脸疲惫但眼中却闪烁着兴奋的光芒“光源稳定了！我们的‘全固态深紫外激光器’连续运行了四十八小时功率波动被控制在了千分之一以内！这是世界级的水平！” 李晓宇点了点头心中也松了一口气。

光源是光刻机的心脏它的稳定性直接决定了刻划线条的质量。

“那就开始吧。

”李晓宇下达了指令“让我们看看这只‘精卫’到底能不能填平那片技术的汪洋大海。

” 实验开始。

在“女娲”系统那经过特殊优化的纳米级运动控制算法的驱动下承载着一块超纯净光学玻璃基板的“龙渊”气浮工作台开始以一种肉眼无法察觉的极其缓慢而平稳的速度移动。

与此同时那束人眼不可见的深紫外激光在精密光学系统的聚焦下汇聚成一个直径只有几百纳米的光斑如同上帝的刻刀精准地轰击在玻璃表面的光刻胶上。

没有声音没有震动。

只有屏幕上那一行行飞速跳动的坐标数据在诉说着这场微观世界里的“宏大工程”。

每一秒钟都有数以万计的宽度只有微米级的栅线被整齐地排列在玻璃上。

它们之间的间距误差被死死地控制在纳米级别！ 整整十个小时。

当最后一条栅线刻划完成工作台缓缓停止时。

那块原本透明的玻璃基板在特殊的灯光照射下折射出了如同彩虹般绚丽的充满了科技感的衍射光芒。

那是“莫尔条纹”的魔法也是人类精密制造的巅峰体现。

经过最严格的检测结果让所有人都欢呼雀跃。

“全长精度误差：0.1微米！”张院士激动地挥舞着检测报告“这意味着我们终于拥有了制造最高等级光栅尺和编码器的母机！我们的‘精卫’填海成功了！” 有了它“夸父”伺服系统的高精度编码器就有了着落；“昆仑”机床的全闭环控制就有了保障！中国的高端数控产业终于补上了最后一块短板！ 然而看着眼前这台凝聚了无数心血的光刻机李晓宇的目光却变得更加深邃。

他想到了更远的地方。

“张老您辛苦了。

”他握住老院士的手诚恳地说道“但是这台机器的使命不仅仅是刻光栅尺。

” 他指着那束深紫色的激光语气中透着一种透过现象看本质的洞察力。

“既然我们能用它在玻璃上刻出微米级的线条。

那我们为什么不能用它在硅片上刻出纳米级的电路呢？” 张承平院士猛地一震他看着李晓宇眼中满是不可思议。

“你是说……芯片光刻机？！” “没错。

”李晓宇点了点头“随着我们的‘女娲’系统越来越复杂对芯片算力的要求也越来越高。

现在我们还能买到国外的芯片但未来呢？如果有一天连芯片也被禁运了我们的‘大脑’难道要停止思考吗？” “未雨绸缪刻不容缓。

” 他当场提出了一个比“精卫”计划更加宏伟也更加艰难的构想。

“我要在‘精卫’的基础上启动代号为**‘神光’**的国产分步重复投影光刻机（Stepper）研发计划！” “我们要利用现有的光源和运动控制技术结合更先进的投影物镜系统去挑战那个被ASML和尼康垄断的半导体皇冠上的明珠！” 张承平院士深吸了一口气。

他知道这将是一场比之前所有战役都要艰难百倍的苦战。

光刻机那是集人类光学、机械、电子、材料等所有学科之大成的终极产物。

但他看着眼前这个年轻人那坚定得如同磐石般的眼神心中那股老骥伏枥的豪情也被再次点燃。

“好！”老院士重重地点了点头“只要国家需要只要你李总工敢带头我这把老骨头就陪你再疯一次！” 走出实验室夜色已深。

满天星斗闪烁着冷冽的光芒。

李晓宇对一直跟在身后的林涛说道：“林涛去订几张机票。

明天我们要去一趟上海。

” “上海？”林涛有些疑惑。

“对上海。

”李晓宇望着南方的夜空目光深远“那里有我们国家最好的半导体专家也有我们未来‘神光’计划最需要的盟友。

新的战场要开启了。

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